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介绍了LNOI材料、光波导制备、光耦合和器件技术方面的研究进展,并针对LNOI材料在光电集成芯片方面的发展进行了展望。
LNOI光电子集成芯片技术
【摘 要】
：
介绍了LNOI材料、光波导制备、光耦合和器件技术方面的研究进展,并针对LNOI材料在光电集成芯片方面的发展进行了展望。
【机 构】
：
微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室; 中国电子科技集团公司第五十五研究所; 东南大学先进光子学中心;
【出 处】
：
光电子技术
【发表日期】
：
2004年期
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