纳米多孔二氧化硅薄膜相关论文
本文以正硅酸乙酯为先驱体,采用溶胶凝胶工艺结合旋转涂敷的制膜方法,在硅片和玻璃上制备了具有低介电常数的纳米多孔SiO2薄膜,研......
本文主要探讨了老化时间与处理温度对纳米多孔二氧化硅薄膜结构的影响。结果表明随着老化时间的增加，薄膜的三维网状结构越明显、孔......
以正硅酸乙酯(TEOS)为先驱体,采用溶胶-凝胶法,结合旋转涂胶和超临界干燥等工艺,在硅片上制备了纳米多孔SiO2薄膜.XRD和AFM表明该S......
以正硅酸乙酯为原料,采用溶胶-凝胶法、旋转涂胶和超临界干燥工艺在硅片上制备了纳米多孔SiO薄膜.用近线性生长模型和分形生长模型......
以聚乙二醇(PEG)为添加剂,正硅酸乙酯(TEOS)为先驱体,采用溶胶-凝胶法、结合旋转涂胶和超临界干燥等工艺在硅片上制备了纳米多孔Si......
以正硅酸乙酯为原料,采用酸/碱两步溶胶-凝胶法、结合匀胶和超临界干燥等工艺在硅片上成功制备了纳米多孔二氧化硅薄膜.适合匀胶的......
以N(C8H15)4+OH-为催化剂,用正硅酸乙脂（TEOS）溶胶-凝胶工艺制备出纳米多孔二氧化硅薄膜。体系的H2O/TEOS>25,强碱催化使二氧化硅的......
作为微电子机械系统（MEMS）技术中最有潜力的绝热材料，纳米多孔二氧化硅薄膜近年来引起了广泛的关注。研究表明其绝热性能与微观结构密......
期刊
