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采用喷雾热解法在500mm×500mm×5mm的玻璃基板上制备了SnO2:F+Sb纳米薄膜。研究了液流量、基板至喷嘴距离、基板温度及喷枪移动速......
半导体敏感元件作为传感器领域的重要分支,正在经历着微型化和集成化的革命。本文以此为背景,制备了性能优异的纳米SnO2气敏薄膜和细......
在真空度为133.3μPa时,用真空气相沉积方法在玻璃衬底上沉积SnO2薄膜。通过XRD,SEM等测试分析,研究了杂质掺杂及热处理前后的SnO2薄膜的结构,晶粒尺寸,电学特......