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积聚式相关论文

智能剥离SOI制备工艺研究

采用改进的ＲＣＡ清洗工艺，首次提出了积聚式缓慢退火剥离方法成功地制备了３英寸智能剥离ＳＯＩ结构，比较分析了不同的清洗和退火工艺对剥离后形成......

会议

智能剥离方法退火工艺结构表面平整度特性表征清洗工艺高温退火测试方法表面质量比较分析积聚式英寸上层单晶

智能剥离SOI材料的制备过程研究

用积聚式缓慢地退火方法在较低的温度下(390℃)成功地获得了用智能剥离技术形成的SOI结构。用红外透射成象技术分析了智能剥离的准......

会议

智能剥离材料退火方法技术形成技术分析红外透射动态过程谱分析积聚式硅器件性能行为温度结构成象

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