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<正> 本文叙述用三甲基镓（TMG）和砷烷（AsH3）制备砷化镓外延膜的初步结果,并对TMG引起的碳沾污作热力学估计,讨论了AsH3/TMG比对外延层......

红外干涉法测量砷化镓外延层厚度是一种较迅速、准确,而又无损的方法。此法一般是用于低阻材料的厚度测量。利用 H800红外分光光......