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<正> 本文叙述用三甲基镓（TMG）和砷烷（AsH3）制备砷化镓外延膜的初步结果,并对TMG引起的碳沾污作热力学估计,讨论了AsH3/TMG比对外延层电学性质的影响和TMG的提纯,最后对该工艺的应用提出了看法。
用三甲基镓和砷烷制备砷化镓外延膜的工艺探索
【摘 要】
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<正> 本文叙述用三甲基镓（TMG）和砷烷（AsH3）制备砷化镓外延膜的初步结果,并对TMG引起的碳沾污作热力学估计,讨论了AsH3/TMG比对外延层电学性质的影响和TMG的提纯,最后对该工艺的
【机 构】
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608组
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1975年01期
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