电液动力效应相关论文
提出一种基于MEMS加工技术的新型电液动力微泵,介绍了电液动力微泵的工作机理和分类;从材料的选取,微电极的优化设计及电液动力微......
基于MEMS加工技术的电液动力微泵在微流体冷却系统和解决高热流器件的冷却问题中占有重要地位。电液动力微泵的核心部分是通过MEMS......
介绍了一种新型电子冷却系统—离子拖曳电液动力微泵,运用MEMS技术在硅片上加工了离子拖曳微泵并进行了测试,微泵由一组平面电极组......
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