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介绍了一种新型电子冷却系统一离子拖曳电液动力微泵，运用MEMS技术在硅片上加工了离子拖曳微泵并进行了测试，微泵由一组平面电极组成，电极的宽度为40μm，发射极和集电极之间的间距为50μm，共有90对电极对，每组电极对之间的距离为100μm。微泵静压力实验以HFE7100和无水乙醇作工作流体，通过施加直流电压来驱动工作流体，当输入电压为200V时，微泵可以得到250Pa的静压力。实验结果表明：微泵的静压力与施加的输入电压成二次方关系，同微流道的高度成反比。实验发现工作介质的物性参数也是决定泵性能的一个重要因