玻璃微腔相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

玻璃微腔相关论文

玻璃微腔的批量制备技术研究及其在LED圆片级封装上的应用探索

微电子封装为具有可动的部件的MEMS(micro-electro-mechanical systems)/MOEMS(micro-optical-electro-mechanical systems)器件提......

学位

玻璃微腔圆片级封装热发泡工艺发光二极管粉尘污染

利用玻璃微腔进行MEMS圆片级气密封装研究

微机电系统(MEMS)封装主要为MEMS芯片提供电气连接、机械保护和环境支持等功能。很多MEMS器件(如MEMS加速度计和陀螺仪)通常包含一......

学位

玻璃微腔热成型圆片级气密性阳极键合微机电系统

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