环形照明相关论文
远心度是衡量光学投影曝光光刻机照明系统性能的重要参数,依据光的衍射理论构建了远心度相关的光刻机投影物镜成像模型.通过matlab......
本文针对目前亚半微米分步重复投影光刻机四级／环形离轴倾斜照明能量利用率低的缺点，设计了一种二元光学元件应用于离轴倾斜照明的系......
<正>摄影本身就是一门光的艺术,棚拍布光亦如此。布光方案不是一成不变的,更不是一种布光方式从头用到尾。在拍摄过程中,摄影师脑......
为了使曝光波长为193 nm的深紫外光刻系统能够制备曝光线宽为90 nm及以下节点的集成电路芯片,设计了采用环形照明模式且部分相干因......
为了代替人眼对物体表面的颜色进行信息检测,设计了LED光源手持式分光测色仪。首先,通过计算不同测量波长分布和分辨率在标准光源......
分光测色仪是颜色测量行业中最基本的仪器,由于测量精度高,应用最为广泛。在线式颜色测量是指,将分光测色仪安装在生产线上,可以及......
针对传统眼底照相机检查不到视网膜边缘的缺陷,提出一种基于Volk角膜接触透镜的免散瞳广域视网膜成像系统。照明充分时,Volk镜头能......
