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本文针对目前亚半微米分步重复投影光刻机四级／环形离轴倾斜照明能量利用率低的缺点，设计了一种二元光学元件应用于离轴倾斜照明的系统。
一种新的离轴倾斜照明系统
【摘 要】
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本文针对目前亚半微米分步重复投影光刻机四级／环形离轴倾斜照明能量利用率低的缺点，设计了一种二元光学元件应用于离轴倾斜照明的系统。
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1998年1期
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