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牺牲层工艺是通过腐蚀或刻蚀牺牲层来制造悬空的梁、膜或空腔结构的技术，广泛应用于MEMS器件与其读出电路的单片集成。可以作为牺牲......
研究了一种基于硅悬臂梁谐振器的新型气体传感器.该传感器在敏感环境中,可同时获得敏感膜电导率和质量变化,测量被测气体分子的荷......
为提高民用客机涡轮叶片修复效率，对叶片修复工艺链中电解修型非加工面保护工艺进行了研究。通过建立电场的数学模型，对叶片表面电流......
混频器是太赫兹器件中传输信号的基本元件,具有重要的研究价值。介绍了一种以MEMS工艺为基础的新型的太赫兹混频器设计和加工工艺......
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文章介绍了微机械和微机电系统制造的一种重要方法-三维立体光刻技术方法的基本原理、加工技术及其应用.同时还介绍了立体光刻技术......
