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湿氧二次氧化相关论文
SiO_2/SiC界面的Wet-ROA改性机理研究
高温热氧化法在4H-SiC(0001)晶面上生成SiO2氧化膜,采用湿氧二次氧化(wet-ROA)工艺对样品进行处理,通过测量SiCMOS结构界面电学特性,发......
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