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基于NI CompactRIO的离子注入机剂量控制系统设计
剂量控制器是离子注入机的核心部件,主要功能是精确控制注入剂量和注入离子的均匀分布。提出了一种基于NI Compact RIO嵌入式实时......
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CompactRIO嵌入式实时控制器
剂量控制
均匀性控制
水平扫描控制
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