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剂量控制器是离子注入机的核心部件,主要功能是精确控制注入剂量和注入离子的均匀分布。提出了一种基于NI Compact RIO嵌入式实时控制器的离子注入机剂量控制系统。首先介绍了离子注入机剂量控制系统工作原理,怎样实现将离子束按设定的剂量精确地、均匀地注入到晶片表面。然后对基于NI Compact RIO嵌入式控制器的离子注入机剂量控制系统的硬件构成和软件结构作了详细的介绍。最后,通过实验验证了此离子注入机剂量控制系统的性能达到设计要求。