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氧化铌作为一种重要的氧化物薄膜材料在可见到中波红外波段广泛应用。基于电子束加热蒸发方法,研究了不同温度条件下一定厚度的氧......
采用射频反应溅射法成功地制备了非晶态氧化铌薄膜,研究了它们的电致变色性能.这些薄膜在漂白态透明无色,而着色态则为灰褐色.循环......
采用离子辅助/中频磁控反应溅射工艺进行氧化硅、氮化硅、氧化铌薄膜材料的沉积实验,探讨溅射工作条件和工艺参数对于膜层材料的加......
