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CZ法单晶硅生长中热量、动量和质量输运特性的数值分析
本文采用有限元方法对CZ法单晶硅生长炉中的热量、动量和质量输运过程进行了全局数值分析.建立了单晶硅CZ法生长的全局分析的数学......
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