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抗过载环形MEMS固体波动陀螺设计加工与测试
本文针对传统MEMS振动陀螺在经历高过载过程无法存活且冲击前后参数变化大的问题,开展了抗高过载MEMS固体波动环形微机械陀螺设计、......
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MEMS陀螺仪
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