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大尺寸热阴极实验系统及其实验结果

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会议

大尺寸热阴极实验系统发射电流密度二极管阴极组件阴极温度收集电流

多弧离子镀沉积过程中等离子体参数对薄膜沉积的影响

采用平面探针测试了衬底附近的电流密度,弧电流和衬底偏压的增加均有助于增加到达衬底附近的离子的数量.弧电流增加引起衬底的温升......

期刊

多弧离子镀收集电流偏压弧电流 Cr-N薄膜

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