【摘 要】
：
采用平面探针测试了衬底附近的电流密度,弧电流和衬底偏压的增加均有助于增加到达衬底附近的离子的数量.弧电流增加引起衬底的温升,衬底偏压对衬底温度影响较小.采用多弧离子
【机 构】
：
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,辽宁,大连,116024
论文部分内容阅读
采用平面探针测试了衬底附近的电流密度,弧电流和衬底偏压的增加均有助于增加到达衬底附近的离子的数量.弧电流增加引起衬底的温升,衬底偏压对衬底温度影响较小.采用多弧离子镀技术沉积Cr-N薄膜,衬底偏压对薄膜的硬度影响较小;弧电流增大,薄膜的硬度随之降低.XRD分析表明,弧电流较高时,不利于Cr-N相的形成,薄膜中以Cr的宏观液滴为主,薄膜硬度较低.
其他文献
城市变美了，百姓为啥意见还多 近些年，济南市园林景观建设让济南变美了、“洋气”了，免费开放的公园多了，绿地广场多了，森林公园面积扩大了……园林建设成绩不菲，但是老百姓的意
从长白山自然保护区原始森林200多年生的东北红豆杉(Tasxus cuspidate Siebet Zucc.)的树皮中分离出94株内生真菌,鉴定出19种.其中,除10个新记录属种外,还包括2个新种:长线孢
本刊讯2011年4月19日,福布斯第六次发布中国慈善榜。榜单显示,100位上榜企业家(企业)现金捐赠总额为81.2亿元,同比增长214%。第100名的入围门槛也由去年的500万元大幅提升至1
近年来,各种工业生产规模的玻璃基片大平面磁控溅射生产线发展迅速,令人关注。本文针对这一领域,就主要膜系开发、设备结构、工艺、存在的问题及最新发展做了简单的归纳和介
成纪1号苹果经过静宁县园艺站18年的栽培实践,表现出短枝性状稳定、树势健壮、树冠紧凑、结实率高、果型高桩艳丽、早果丰产、耐贮运等优良性状,栽培管理容易,经济效益好,总
土壤作为陆地生态系统中最大的有机碳库,与大气、气候和土地利用变化有着紧密的联系,土壤有机质和气候,土地利用变化影响着土壤有机碳的动态变化.为了充分了解它们之间的相互
在“拆迁难”成为全国各地一个普遍性的老大难问题时，山东省烟台市却在城镇化建设中始终把群众利益放在首位，独辟蹊径，创造了卓有成效的“烟台模式”。 所谓的“烟台模式”，得
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
1．2010年广东省造纸行业生产经营概况rn2010年末全省规模以上造纸企业机制纸及纸板产量达到1434．7万t，同比增长9％，占全国总产量的14．3％，首次超过浙江，仅次于山东，位居全国第二位。