为研究抗热载子损伤的加固技术，对国产Ｎ型ＭＯＳ电容进行了Ｆｏｗｌｅｒ－Ｎｏｒｄｈｅｉｍ衬底的热电子高场注入（ＳＨＥ），并利用高频Ｃ－Ｖ及准静态Ｃ－Ｖ分析技术，从微观氧化物电荷、界面态的感......