微波ECR相关论文
铁磁形状记忆合金Ni-Mn-Ga是一种新型的智能材料，最突出的应用功能在于它的马氏体变体可以由外加磁场驱动重新排列而显示出类似于磁......
本论文紧紧围绕生物金属材料在生理环境下发生腐蚀导致表面粘附血浆蛋白和细菌，从而影响其生物相容性这一难点问题而开展研究工......
用朗缪尔探针对一个新颖的双谐振腔多功能PSII系统的微波ECR等离子体进行了诊断,得出了会切场中工作气体压强和微波功率对等离子体......
采用微波ECR CVD系统制备了a-Si:H薄膜,对比有无热丝辅助情况下薄膜的生长情况,并通过红外光谱测试进行氢含量分析.a-Si:H薄膜中氢......
本研究中研制的等离子淀积装置,通过在低气压(10~(-4)Torr)下增强等离子体的激发效率及中能(10—20eV)离子的加速作用,采用微波ECR......
ＺｎＯ薄膜具有强的压电和光电效应，广泛用于制作各种声电和声光器件中．本文报道了用微波ＥＣＲ等离子体溅射法沉积了ＺｎＯ薄膜，并研究了该法制备ＺｎＯ膜的工......
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