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微夹持器模型相关论文
梳状微夹持器静电驱动力计算
针对微夹持器中非平行梳状静电驱动方式以及实际静电驱动微机械器件电容边缘效应不可忽略的特点,推导了计及边缘效应梳状驱动器以......
会议
微夹持器模型
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