大口径干涉仪相关论文
为抑制Φ600 mm波长调谐干涉仪测量过程中振动引起的测量误差，研究了波长调谐振动抑制算法。该算法构建了基于波长调谐移相的振动理......
大口径光学元件在天文、能源等前沿技术领域内有着重要的作用,它们的高效加工是这些技术进行的保障,而制约大口径光学元件加工的关......
光学干涉检验作为光学系统和光学面形的评价基准,具有纳米级的高测量精度。为对更大口径的光学系统和光学元件进行质量评估,需要研......
学位
移相干涉是数字波面干涉测量中最常用的技术,具有算法简单、精度高、重复性好等优点,在光学元件面形高精度测量中得到广泛的应用。......
以大口径斐索卧式移相干涉仪为研究对象，研究以压电陶瓷（PZT）实现移相为代表的大口径干涉仪所包含的技术难点和解决方案，主要包括大口......
对于大口径非球面的高精度检测，现有的大口径干涉仪价格昂贵，而且横向分辨率往往不够，而高精度干涉仪的口径往往较小，无法满足大口径非......
由于强激光、航空航天和天文观测等项目的发展,国内迫切需要多台大口径干涉仪检测系统中所用到的光学元件。对于强激光系统中的光......
为测量大口径准直波前的准直性，开发了基于电子自准直仪的准直波前检测系统．介绍了大口径准直波前检测原理及检测装置，分析了主要误差......
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采用蜗轮蜗杆驱动调整机构、使用同步带安装标准镜片方式、正交十字导轨支撑等可有效提高光学精密检测系统中大口径干涉仪装置的镜......
针对一台有效口径为300 mm的斐索立式移相干涉仪的参考镜,采用有限元方法对其水平状态不同支承方式下的表面变形进行了分析及优化......
大口径平面光学元件在天文、航天、强激光等领域有着重要且广泛的应用,例如在我国神光Ⅲ高功率固体激光装置的重大项目中使用了大......
大口径光学系统的广泛应用要求发展与之精度相适应的检测方法和仪器,对大口径移相干涉仪的需求与日俱增。论文以研制的国内首台φ3......
高功率固体激光装置作为惯性约束聚变的驱动器,使用了大量高精度、大口径的光学元件,并对应有严格的分频段评价指标和要求,需要相......
