多元薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

多元薄膜相关论文

从粒子输运研究靶的溅射与中毒

从粒子的产生、输运及表面反应出发,建立总的输运模型并得到靶的溅射速率和化合物的复盖度.模型中都是以宏观工艺参数及反应室结构......

期刊

多元薄膜溅射速率靶中毒粒子输运模型溅射淀积 complex films sputtering rate target poisoning

离子束辅助真空电弧沉积纳米ZrN及（Zr，Me）N薄膜的研究

根据真空电弧沉积的膜层与基材的附着力强、沉积速度快、沉积温度低、无公害等优点和离子束辅助沉积的离子束轰击可以获得致密的优......

学位

ZrN超硬薄膜多元薄膜真空电弧沉积离子束辅助沉积组织和性能

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