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反应室压力相关论文
生长压力对GaN薄膜生长速率和结构特性的影响
研究了生长压力对金属有机物化学气相淀积技术在蓝宝石衬底上生长的GaN薄膜的生长速率、表面形貌和结晶质量的影响.研究结果表明,......
期刊
氮化镓
反应室压力
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GaN
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