化学过滤器相关论文
可凝结物是电子洁净室内一种常见的气态污染物,它不仅会腐蚀洁净室的产品和设备,还会降低工艺的精度,造成巨大的经济损失。目前洁......
基于理论推导和相关实验，给出了平板型和W型褶型碳布式化学过滤器的阻力预测公式。研究显示：克重为600～1 000 g/m~2的夹碳布的阻力为2......
阐述ITRS和IRDS的要求,洁净室空气净化系统对粒子浓度、气态污染物的管控均有严格要求.洁净室的主流净化技术包括风机过滤单元、高......
本文介绍应用于空调通风系统的化学过滤器，包括：化学过滤一般知识，控制室内环境化学污染的相关指标，现场检测方法、典型过滤器产品，以及......
化学空气过滤器或气相过滤器已经应用了三十多年.这种特种气体过滤产品从气流中清除带异味的有腐蚀性的、有害有毒气体.在开始时,......
研究了市场所售椰壳粒状活性碳(AGC)加载在无纺纤维上的滤材在不同面速时对甲苯的吸附情况。为研究吸附机理、使用了3种简化的动力......
微电子工业工序复杂性的增加和产品制程线宽的缩小,气态分子污染物(AMC)对产品的影响成为洁净室环境控制中重点关注的问题.为清除......
在半导体业中,对生产作业环境要求极为严格,其中对AMC(AirborneMolecularContami-nation)有更严格的控制要求。SO2和NH3属于AMC中......
21世纪,我国国家半导体制造整体实力突飞猛进,随着半导体工艺不断的进步,线宽从1um提升到90nm以下,再到大规模量产的28nm和14nm工......
针对洁净室几种空气循环方式及化学过滤器的设置,建立气流流程,导出稳定条件下有关空气分子污染(AMC)控制计算公式.通过计算帮助设......
现在,在最尖端的洁净室,对空气中的悬浮分子污染(AMC;Airborne Molecular Contaminants)进行控制是不可缺少的.作为控制技术之一,......
本文对用于微电子制程中化学过滤器进行了探讨。文章围绕AMC的分类和常见危害、对付AMC方案和对策、选用化学过滤器要关注的因素和......
通过在FFU(EFU)和洁净室循环空调机组中加装化学过滤器，对洁净室内离子气体污染物的浓度进行控制。......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
分析铜冶炼生产环境中空气含有大量浓度较高的腐蚀性气体、导致ZH型多级离心压缩机主要零部件腐蚀的问题，介绍CAFH化学过滤器的主要......
位于冰岛首都雷克雅未克郊外的丘陵地带,有一台大小相当于汽车车库的机器,科学家们正通过化学过滤器将空气中的二氧化碳提取出来。......
本文介绍了化学过滤器的净化原理、吸附材料、结构,以及在实验动物房排气及循环风中的应用,它能有效去除动物房中产生的有害气体和......
...
分析了SO2对半导体封装工艺的危害,并结合公司示范组装线自投产以来,一直存在净化间SO2浓度波动较大的现象,对示范线净化间内SO2的......
在半导体行业,空气中的悬浮气态分子污染物对于制程的潜在危害越来越受到人们的重视。目前,在通风系统中使用化学过滤器是去除AMC......
随着半导体工业的飞速发展,最小线宽的尺寸越来越小,进入纳米级时代,从而相应的对洁净室环境的控制越加严格。洁净室环境内的悬浮......
对预浓缩气相色谱质谱在半导体洁净室VOC（Volatile Organic compound,挥发性有机化合物）管控中的应用进行了系统的归纳和总结。主要......
在半导体业中,对生产作业环境要求极为严格,其中对AMC(AirborneMolecularContami-nation)有更严格的控制要求。SO2和NH3属于AMC中......
本文重点对粒状活性碳过滤器和活性碳纤维过滤器在过滤水和空气时的性能进行了对比,同时对比了粒状活性碳和活性碳纤维的特性及结......
首先从取样与分析着手研究。分析了设施内外的空气质量,识别出目标污染物以及那些可能影响气态分子污染（AMC）控制系统性能的物质;其......
