【摘 要】
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半导体工艺的不断升级,使洁净室对空气的品质要求越来越高。传统的空气净化主要针对大颗粒的气态分子污染物,而如今这样的处理能力已经远远不够,小颗粒的悬浮分子污染物对制
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半导体工艺的不断升级,使洁净室对空气的品质要求越来越高。传统的空气净化主要针对大颗粒的气态分子污染物,而如今这样的处理能力已经远远不够,小颗粒的悬浮分子污染物对制品的影响越来越大。AMC在生产过程中对不同制程有不良影响,会导致成品合格率降低。在此从AMC定义、来源、危害以及控制方法对其进行分析。污染物的分类可以帮助我们更有针对性的对污染物处理。按照新风生产的过程,提出一系列的控制方法,使得最终通入洁净室的空气尽可能的干净。
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