共振隧穿薄膜相关论文
随着现代物理学、微电子、计算机和惯性技术的发展,微机械陀螺以其独特的优点成为惯性传感器的一个发展方向,具有良好的应用前景。......
首先说明了微机械陀螺的四种传统检测方法的局限性，然后设计了一种新型的基于介观压阻效应的GaAs／AlAs/In0.1Ga0.9As贴膜微机械陀螺．......
设计并利用控制孔技术加工了GaAs基微结构和基于该微结构的共振隧穿薄膜，并通过实验研究了微结构中共振隧穿薄膜的介观压阻效应，试验......
研究了一种新型的GaAs基压阻式共振隧穿微加速度计结构.该微加速度计的压敏元件采用AlAs/In0.1Gao.9As双势垒共振隧穿纳米薄膜结构......
