亚纳米级平整相关硕士博士期刊学术论文

为得到超光滑的数字光盘母盘玻璃基片表面，研究玻璃基片的亚纳米级抛光技术。分别采用2μm、0．3μm超细氧化铈抛光液以及纳米氧化硅......