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二次溅射相关论文
YSZ—Si上溅射BSCCO超导薄膜的二次溅射效应
本文对溅射高温超导薄膜的过程中所产生的二次溅射效应(Resputter-Effect)作了较系统的理论分析,观察敢YSZ-Si衬底上磁控溅射BSCCO高温超导薄膜时二次溅射效应所产......
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