megasonic相关论文
A wet-chemical etching technique has been used to prepare silicon arrays.The low reflectance has been identified as bein......
为了将兆声引入化学机械抛光,进一步提高抛光效率,深入研究了化学机械抛光中兆声对抛光液流动的影响。首先测试抛光头工作表面的轴......
随着半导体技术的不断发展，集成电路的线宽在不断减小，对硅抛光片表面质量的要求也越来越高，传统的RAC清洗方法已不能满足其需求，因此，......
