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The innovation in the preparation of catalyst and nano or nano-structured materials plays more and more important role.I......
给出了圆筒形微空心阴极的3维流体方程组及其稳态的差分方程和合理的边界条件,并利用计算机模拟计算,得出了He放电形成的粒子密度......
利用流体模型对ArF准分子激光气体放电过程进行了数值模拟，通过对比不同初始预电离强度下的气体放电情况，分析了预电离效应对准分子......
本文建立了不考虑电压上升时间的均匀脉冲放电预电离条件,所得结果和前人的实验数据符合较好,修正了前人的研究成果。......
使用氦气放电增强准分子激光溅射反应沉积ＡｌＮ薄膜，讨论了脉冲能度，氮气放电基底温度等因素对膜的性能的影响，实验结果发现，当ＤＥ＝１．０Ｊ．ｃｍ＾－２，Ｐｎ２＝１００×１３３．３３Ｐａ，Ｔａｕｂ＝２００℃，Ｖ＝６５０Ｖ，ｆ＝５Ｈｚ，ｄｓ－Ｔ＝４ｃｍ时，高......
