近年来，Al掺杂的ZnO（ZAO）透明导电氧化物薄膜，以其价格低廉、无毒性、在氢等离子气氛中性质稳定等优势，而受到研究者的广泛关注，已经成为......

ZnO透明导电氧化物薄膜是现在国内外研究的热点,由于它有电阻率低、透射率高、并且Zn储量丰富、价格便宜、无毒、在氢等离子体中具......

采用冷等静压成型（CIP）、低真空烧结和热等静压（HIP）烧结技术制备ZAO靶材，采用排水法、SEM、XRD、光谱发射法（ICPOES）分析了2种烧结方法制......

以纳米量级的ZnO和Al2O3粉体为原料，通过湿式球磨得到了混合粉体，再经过模压成型与常压烧结工艺即可获得致密度超过95％的ZnO：Al陶瓷靶......