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ZnO透明导电氧化物薄膜是现在国内外研究的热点,由于它有电阻率低、透射率高、并且Zn储量丰富、价格便宜、无毒、在氢等离子体中具有高的稳定性、应用到太阳电池中不会使电池效率降低等优点。因此它是硅基薄膜太阳电池重要的前电极和背反射电极材料,同时也是降低该种电池成本的重要途径。要获得高质量的ZnO薄膜,必须具有优质ZnO靶材。研制适于溅射和电子束蒸发用ZnO靶材是获得优质ZnO薄膜的基础。本文以ZnO粉末和Al2O3粉末为主要原料,以常压空气气氛和常压氩气气氛烧结为手段制备透明导电