采用电阻法研究溅射ＴｉＮｉ薄膜的热处理效应．实验结果表明，溅射ＴｉＮｉ薄膜的热循环效应与块状ＴｉＮｉ合金相比有所不同，随热循环次数增加，ＴｉＮｉ薄膜的马氏体相变......