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Silicon-director-bonding(SDB)technique相关论文
SDB技术及其在传感器中的应用
本文简要介绍了硅片直接键合(SDB)技术和pn结自停止电化学腐蚀减薄新技术以及该技术在传感器中的应用。......
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硅片键合
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Silicon-director-bonding(SDB)technique
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