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本文简要介绍了硅片直接键合(SDB)技术和pn结自停止电化学腐蚀减薄新技术以及该技术在传感器中的应用。
SDB技术及其在传感器中的应用
【摘 要】
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本文简要介绍了硅片直接键合(SDB)技术和pn结自停止电化学腐蚀减薄新技术以及该技术在传感器中的应用。
【机 构】
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东南大学
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1991年6期
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