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SPM去胶相关论文
VDMOS器件制造中的湿法工艺与设备研究
简述了VDMOS器件制造工艺流程,介绍了其中常用的RCA清洗、SPM去胶、BOE腐蚀、Al腐蚀等湿法工艺,并对相关湿法设备的配置以及工作原......
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VDMOS器件
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RCA清洗
SPM去胶
BOE腐蚀
铝腐蚀
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