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简述了VDMOS器件制造工艺流程,介绍了其中常用的RCA清洗、SPM去胶、BOE腐蚀、Al腐蚀等湿法工艺,并对相关湿法设备的配置以及工作原理进行了介绍.
VDMOS器件制造中的湿法工艺与设备研究
【摘 要】
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简述了VDMOS器件制造工艺流程,介绍了其中常用的RCA清洗、SPM去胶、BOE腐蚀、Al腐蚀等湿法工艺,并对相关湿法设备的配置以及工作原理进行了介绍.
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京 100176
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2021年6期
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