SOI技术相关论文
压力传感器是MEMS传感器的重要研究方向之一,电容式压力传感器具有尺寸小、结构简单、温度漂移小、灵敏度高等优点,在航空航天、工......
阵列波导光栅(AWG)解调是一种新型光纤光栅(FBG)解调方法，可同时用于静态或动态信号的测量，有利于实现多点传感信号的准分布式测量。......
本文介绍了SOI技术的基本概念、主要优点、国内外研究现状等,着重介绍了SOI技术在抗辐照芯片制造方面的应用,介绍了辐照对电子器件......
随着光通信技术的发展，基于SOI(silicon-on-insulator)结构的硅纳米线波导因其相对低成本的制作工艺，较高的非线性系数以及对光束的......
随着近年来光波导器件的发展,光波导型传感器逐渐成为众多应用中具有重要前途的平台。例如,环境保护、医疗诊断、生物制药等。由于......
SOI（silicon on insulator）技术在高速低功耗、微机械传感器、光电器件等方面具有重要应用，是微电子和光电子领域发展的前沿。作为粒......
等离子体显示平板(PDP:Plasma Display Panel)是目前市场上主流的平板显示器之一,它具有显示效果好、寿命长、视角广、响应快、厚......
SOI是“Silicon-on-insulator”的简称,中文译为“绝缘体上的硅”.国际上公认,SOI是21世纪的微电子新技术之一和新一代的硅基材料,......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了SOI技术高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片；通过动力学分析和有限元模拟，研制出了具......
In recent years, novel structure SOI materials have been fabricated successfully. Also, SiGeOI (SGOI)material, an ideal ......
为满足建筑物振动监测等应用对小加速度信号测量的需求,采用带有微梁和支撑梁的敏感结构设计了一种压阻式小量程加速度传感器芯片,......
利用SIMOX材料制作智能卡是一种新的技术。简要介绍了一种智能卡的发展及应用，并描述了利用SOI（SIMOX）技术制作的一种新型智能卡芯片，......
在光学系统中,SOI(绝缘体上的半导体)上制备集成的MMI(多模干涉)型光耦合器已成为一种愈来愈引人注目的无源器件.由于Si和SiO2之间......
GlobalFoundries宣布推出其全新的“22FDX”工艺平台，成为全球第一家实现22nmFD-SOI（全耗尽绝缘硅），专为超低功耗芯片打造。FD—SOI技......
介绍了SOI技术的特点和制造方法、超薄SOI技术，应变硅SOI技术及其设备，如大束流专用氧离子注入机。......
主要讨论了SOI集成技术及其发展前景,介绍了SOI技术在VLSI应用方面的优越性以及在微电子领域中的广泛应用.......
主要讨论了SOI集成技术及其发展前景,介绍了SOI技术在VLSI应用方面的优越性以及在微电子领域中的广泛应用.......
本文介绍了几种在高温工况下使用的动态压力传感器的设计、研制与开发,它们都是采用基于MEMS技术的SOI技术制作的,低至零频,高至数......
近年来,芯层与绝缘层有较大折射率差的SOI光学波导作为光电集成的一种理想平台已引起业界关注,并对其理论和实验的研究也日趋繁荣......
MEMS压力传感器是发展最早、市场占有率极大的微型传感器,因具有尺寸小、响应快、结构简单、输出信号易处理等优点已被广泛应用于......
随着光通信技术的发展,基于SOI (silicon-on-insulator)结构的硅纳米线波导因其相对低成本的制作工艺,较高的非线性系数以及对光束......
压阻式压力传感器是解决高温压力测量的优选方案。取消隔离PN结是问题的关键。传统的SOS法很不理想。本文报道了作者在现代三维微......
本文较为系统地描述了 SOI技术的特点 ,分析了 SOI技术中存在的问题和发展的潜力 ,最后得出了 SOI技术将在特征尺寸小于 0 .1 μm......
随着半导体集成电路技术的不断发展,新颖的制造技术支持着更小的特征尺寸,更复杂的器件结构在半导体芯片中出现。但是在器件特征尺......
随着国防军事的迅速发展,IC芯片因辐射效应导致的问题也越来越严重,电子元器件及芯片系统在辐射环境下可靠性研究变得更加重要,从......
SOI（Silicon on Insulator）技术能为智能功率集成电路SPIC（Smart PowerIC）提供理想的介质隔离，并正在成为下一代低功耗高速集成电路的主......
SOI技术是一种非常有潜力的新型硅技术，被称为21世纪的硅技术。本文对SOI技术，特别是CMOS/SOI技术，做了较详细的阐述。并利用CMOS/SOI......
本文介绍一种成品率高，而实现全介质隔离的ＳＯＩ技术。该技术利用助粘层对硅片进行粘合，实现以单晶硅取代ＳｉＯ２一多晶硅介质隔离片中的多晶硅支......
