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介绍了一种应用微悬臂梁结构,简单直接测量其中压电薄膜PZT的横向压电系数d31的方法.利用微悬臂梁器件本身和普通仪器,通过测量电压作用下微悬臂梁所产生的挠度值即可获得d31.还介绍了应用所测的d31对微悬臂梁的谐振进行有限元模拟的方法,及与振动实验结果的比较.
PZT压电薄膜的压电系数d31的测量及其微悬臂梁简谐振动模拟
【摘 要】
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介绍了一种应用微悬臂梁结构,简单直接测量其中压电薄膜PZT的横向压电系数d31的方法.利用微悬臂梁器件本身和普通仪器,通过测量电压作用下微悬臂梁所产生的挠度值即可获得d31
【机 构】
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华东理工大学石油化工学院机械工程系,复旦大学微电子系
【出 处】
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复旦学报(自然科学版)
【发表日期】
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2002年2期
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