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采用PMMA LB膜作为电子束抗蚀层进行100mm高分辨率铬掩模版的制作研究
在发展流动亚相法制备高粘度聚合物分子单层膜装置的基础上,研究制备大面积、高质量的PMMALB膜抗蚀层,并用于100mmCr掩模版的电子束......
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采用PMMA LB膜作为电子束抗蚀层进行100mm高分辨率铬掩模版的制作研究
在发展流动亚相法制备高粘度聚合物分子单层膜装置的基础上,研究制备大面积,高质量的PMMA LB膜抗蚀层,并用于100mm Cr掩模版的电子束光刻制造技术......
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