透明导电氧化物是具备良好的导电性和透过性的，这使得该类透明导电氧化物在平板显示、太阳能电池、气敏元件、薄膜电阻器、有机发光......

透明导电氧化物(TCO)薄膜兼具透明性和导电性两大特性，能广泛应用于平面显示器、太阳能电池、节能视窗、透明电磁屏蔽等领域。当前，......

本文介绍射频磁控溅射技术在聚对苯二甲酸乙二醇酯（Polyethylene terephthalate,PET）衬底上溅射沉积铝掺氧化锌（ZAO）薄膜,通过调控多工......