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透明导电氧化物(TCO)薄膜兼具透明性和导电性两大特性,能广泛应用于平面显示器、太阳能电池、节能视窗、透明电磁屏蔽等领域。当前,显示技术越来越趋向于柔性化、超薄化,这大大促进了人们对柔性TCO薄膜的研究,其中在低软化点的柔性衬底上低温制备优质的ITO薄膜,已经成为国际上的热门研究课题。本文通过对柔性ITO薄膜的特性、制备工艺研究,设计出并低温制备出了透光率大于75%、电阻率为8×10~(-5)Ω·cm的SiO_2/ITO/Ag/ITO膜系的PET基柔性ITO薄膜。论文取得的成