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以醋酸锌水溶液为前驱体,分别以醋酸铵和硝酸铟为氮（N）源和铟（In）源，采用超声喷雾热分解方法在普通玻璃衬底上沉积了氮铟（N-In）共掺杂ZnO......
在石英玻璃衬底上以ZnO：In2O3粉末为靶材，采用射频磁控溅射法制备出具有良好c轴择优取向的ZnO：In薄膜，继而对样品进行二次N离子注入掺......
