论文部分内容阅读
以醋酸锌水溶液为前驱体,分别以醋酸铵和硝酸铟为氮（N）源和铟（In）源，采用超声喷雾热分解方法在普通玻璃衬底上沉积了氮铟（N-In）共掺杂ZnO薄膜。并采用x射线衍射、场发射扫描电镜、霍尔效应、透射光谱等分析方法，研究了N-In共掺杂和沉积温度对ZnO薄膜的晶体结构、成分及含量、形貌、电学性能、光学性能的影响。结果表明：通过氮-铟共掺杂．ZnO基薄膜具有良好的的电学性能，但是均为n型导电，与相关文献中的结果完全相反。