Piezo-electric nano-positioning stages are being widely used in applications in which precision and accuracy in the orde......

随着科学技术的发展，超精密定位技术在各领域得到了广泛应用，它的研究对MEMS技术的发展具有重要的意义。对具有纳米定位精度的二维微......

介绍了一种基于尺蠖运动原理的大范围纳米级步距压电电动机。根据其运动原理和机械结构特点，设计完成了该压电电动机的控制系统，通过......

为了提高粘滑式纳米定位台对不同负载,尤其是大质量负载的适用性,设计了驱动模块化的粘滑定位平台。将质量块、柔性铰链及铰链架一......

压电陶瓷通常用于原子力显微镜(AFM)中的扫描器中,但是在无补偿开环控制中压电陶瓷在输入电压与输出位移之间表现出明显的迟滞和蠕......

研究一种具有纳米级定位精度的弹性位移缩放机构。该机构采用桥式柔性铰链位移缩放机构,这种弹性位移缩小机构可以将传统螺母丝杠......

进行了一个用于微细电火花加工的三维精密运动平台设计。对平台的传动方式、布局结构、通信模块等关键环节进行了详细分析，并进行了......

为弥补压电陶瓷微位移器件伸长量过小的缺陷,设计了一种结构紧凑、无传动间隙、无附加位移耦合的柔性铰链微位移放大器,以满足大行......

介绍了一种基于尺蠖运动原理的回转式微角度步距压电电动机。借助柔性机械结构,将压电陶瓷的微位移以角度方式输送出来。在结构设......

研究了基于可编程多轴控制器运动控制卡的宏微两级精密定位控制系统，介绍了如何通过该控制卡的电路设计以达到对工作台的纳米级定位......

为了满足大尺寸衍射光栅拼接调整架精密调整的需求，设计了一种滚珠丝杆的机械式微位移驱动器，能够实现十几毫米的大行程。为了达到高......