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金属/多孔硅/单晶硅(M/PS/Si)微结构的电学特性
采用双槽电化学腐蚀法制备多孔硅层,然后在多孔硅表面沉积形成金属电极,制备出M/PS/Si微结构.利用SEM分析多孔硅的表面形貌,通过测......
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