IGZO靶材相关论文
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对In-Ga-Zn-O (IGZO)材料推广应用过程中可能的技术阻碍进行了分析,包括IGZO的成分分析、IGZO靶材制备技术分析、IGZO-TFT (IGZO薄......
分别用化学共沉淀粉和单元氧化物混合粉为原料烧结制备In2Ga2ZnO7(IGZO)靶材,对比研究了煅烧温度、烧结温度、烧结气氛、保温对靶材......
以预烧结复合粉体为原料,采用放电等离子烧结(SPS)方法制备IGZO靶材,并采用密度测定、XRD、SEM等手段对不同烧结温度条件下的靶材......